异物检测装置

可完成高敏度、高速率的异物检查　实现波长切换　已取得专利
液晶玻璃基板、薄膜、树脂材料等各种样本的表面异物检查、划痕检查、内部异物检查
根据客户的样本，自动切换检测光波长，完成高速、高分辨率的检查工作。
我们也可以根据客户的规格要求，定制设备的占用空间与分辨率。