产品名称
电子器械
日⇒中
减压干燥设备
由触摸屏面板控制的真空干燥设备，可完成配方操作。
在减压室内，对涂敷了抗蚀剂的玻璃基板进行减压干燥处理的装置。
产品详情
备注
制造商：EHC Co., Ltd.（株式会社イーエッチシー）
还可提供其他液晶设备。
欲知更多详情，请与我们联系。
触摸屏控制，操作更简便
配方操作（可复现操作步骤）
2级排气系统，利用干燥抑制风纹气泡的产生
安装蝶阀，实现真空排气功能