減圧乾燥装置

タッチパネル制御によりレシピ操作ができる減圧乾燥装置です。
減圧チャンバーで、レジスト塗布後のガラス基板を減圧乾燥する装置です。

タッチパネル制御による操作の簡易化
レシピ操作有り（操作手順の再現化が可能）
２段階排気により風紋や発泡を抑えた乾燥の実施
バタフライバルブの採用で真空排気能力の設定が可能

製造メーカー：株式会社イーエッチシー
その他の液晶関連設備も対応可能です。
詳細はお気軽にお問い合わせください。